引言

鋯及其合金材料具有較低的熱中子吸收截面（鋯的熱中子吸收截面為 0. 18×10 ^?28 m ²，而 Zr-2、Zr-4、Zr-1Nb等鋯合金的熱中子吸收截面為（0. 20—0. 24）×10 ^?28 m ² ），能夠有效地減少中子吸收損耗，從而提高燃料利用率及核能經(jīng)濟(jì)性。鋯合金在300—400 ℃的高溫高壓水和蒸汽中有很好地抗腐蝕性，在反應(yīng)堆內(nèi)有相當(dāng)好的抗中子輻照性能，同時還具有適中的力學(xué)性能和良好的加工性能，因此已被普遍用作以水冷反應(yīng)堆為主的多種反應(yīng)堆的核燃料包殼管和結(jié)構(gòu)材料。例如，Zr-2 作為沸水堆燃料元件的包殼材料，Zr-4 作為重水堆和石墨堆燃料元件的包殼材料，改進(jìn) Zr-4、ZIRLO、M5 和 E635 被用作于先進(jìn)壓水堆燃料元件、高燃耗燃料組件的包殼材料和結(jié)構(gòu)部件并已進(jìn)入商用［1-2］ 。

鋯合金具有優(yōu)良的抗腐蝕性能、力學(xué)性能和加工性能等，這與其微觀組織結(jié)構(gòu)有直接的關(guān)系。因?yàn)椴牧系奈⒂^結(jié)構(gòu)及缺陷對材料的物理、化學(xué)和力學(xué)性能有著重要的影響，他們與性能之間的關(guān)系一直是材料科學(xué)領(lǐng)域中重大的理論與實(shí)驗(yàn)研究課題。

目前，關(guān)于輻照前鋯合金的顯微組織國內(nèi)外學(xué)者均已進(jìn)行了系統(tǒng)地詳實(shí)的各種檢測分析，對輻照后的鋯合金也進(jìn)行了大量的顯微組織方面的研究。對鋯合金顯微組織的研究，主要集中在各種工藝過程中鋯合金的第二相種類、結(jié)構(gòu)和尺寸，以及晶粒在冷熱加工過程中的變化、氧化膜中氧含量、冷熱加工過程中織構(gòu)的變化等方面，所有這些顯微組織結(jié)構(gòu)的測試表征均離不開各種檢測設(shè)備和表征方法，這些先進(jìn)表征方法的應(yīng)用為鋯合金顯微組織的研究提供了強(qiáng)有力的工具，為改進(jìn)合金設(shè)計和工藝提供了重要的參考，同時也為鋯合金在核工業(yè)、航空航天和醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域中的應(yīng)用奠定了堅實(shí)的基礎(chǔ)。

本文綜述了各種先進(jìn)的表征方法在鋯合金顯微組織研究及應(yīng)用中的最新進(jìn)展，指出了待解決的問題，并結(jié)合工程實(shí)際就未來深入研究鋯合金顯微組織的方向提出了建議。旨在為適用于具有更高安全性和更長換料周期的核燃料，研發(fā)出材料性能更加優(yōu)異的鋯合金包殼材料。

1、電子顯微分析技術(shù)

電子顯微分析技術(shù)（掃描電子顯微鏡（SEM）和透射電子顯微鏡（TEM））依賴于各種配件，對電子束與樣品相互作用后的各種信號進(jìn)行收集和處理，是常用的研究材料顯微組織的方法。通過配備電子背 散 射 衍 射（Electron Back-scattered Diffraction，EBSD）和 X 射 線 能 譜 儀（X-ray Energy Dispersive Spectroscopy，EDS）等附件，將譜學(xué)表征技術(shù)運(yùn)用到現(xiàn)代電鏡技術(shù)中，不僅可以獲得樣品微觀結(jié)構(gòu)信息，同時還可以定性或定量獲取對應(yīng)區(qū)域內(nèi)材料的元素分布、能帶結(jié)構(gòu)和價態(tài)信息。近年來，依托電子顯微分析技術(shù)的發(fā)展，對鋯合金顯微組織研究也不斷深入。

對于鋯合金（包殼）材料的顯微組織，國內(nèi)外的主要研究對象有鋯合金的結(jié)晶行為、第二相、氫化物和氧化膜［3］ ，其中第二相和氫化物可直接影響鋯合金在核反應(yīng)堆極端的工作環(huán)境下的使用性能。合金生產(chǎn)時需要關(guān)注控制第二相的尺寸、形態(tài)及微觀結(jié)構(gòu)的方法［4］ ，而采用電子顯微鏡多種表征技術(shù)可針對鋯合金包殼的第二相、氫化物和氧化膜展開研究，不僅可以將顯微組織特征與結(jié)晶學(xué)關(guān)系聯(lián)系起來表征，還可以分析合金內(nèi)部納米級的組織結(jié)構(gòu)演變，為鋯合金包殼材料性能的優(yōu)化改進(jìn)提供支持。李強(qiáng)等［5］ 在研究鋯合金中少量 Sn 或 Fe 元素對第二相形成及晶粒長大和遷移影響時，使用 SEM 觀察了晶粒與第二相粒子的形態(tài)和分布，采用附帶能譜分析的TEM 表征了晶粒和第二相的晶體學(xué)結(jié)構(gòu)及成分。

結(jié)果表明：純 Zr 樣品中含有少量鐵的第二相，隨著Fe 含量的增加，均勻彌散分布在 Zr-Fe 合金晶粒內(nèi)部和晶界處的第二相顆粒的尺寸增大，且數(shù)量增多；在純 Zr中加入小于 5%（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）的 Sn后，Sn沒有以析出相的形式出現(xiàn)。通過 SEM 觀察到合金樣品中存在較大尺度的第二相顆粒時，可利用 FIB-SEM雙束電子顯微鏡，定位研究以確定 SEM 結(jié)果中的目標(biāo)相。利用聚焦離子束（Focused Ion Beam，F(xiàn)IB）制備的 Zr-1. 0Fe合金樣品的 TEM 照片及 EDS分析結(jié)果，確定 SEM 發(fā)現(xiàn)的存疑相與普通 TEM 樣品的析出相一致，均為底心正交結(jié)構(gòu)的 Zr 3 Fe相。

SEM 和 TEM 在協(xié)作研究某特定單個晶粒和單個未知相時是非常精準(zhǔn)可靠的，但在研究鋯合金的織構(gòu)時就略顯乏力。EBSD 最大的優(yōu)點(diǎn)是可以將要求的某一塊區(qū)域的顯微組織和結(jié)晶特性聯(lián)系起來表征，快速分析合金樣品表面任意位置的顯微組織和織構(gòu)信息，彌補(bǔ)了 SEM 無法分析掃描區(qū)域內(nèi)所有相和晶粒的取向這一缺點(diǎn)，而且在保留了 SEM 常規(guī)特點(diǎn)的同時進(jìn)行了空間分辨率微米級的衍射，從而給出晶粒的結(jié)晶學(xué)信息。EBSD 作為 SEM 附件，利用與 SEM 不同的信號成像，即發(fā)生布拉格反射的背散射電子。在核反應(yīng)堆的高溫、高壓和強(qiáng)輻射的運(yùn)行環(huán)境下，鋯合金和高溫水發(fā)生緩慢的水側(cè)均勻腐蝕（反應(yīng)方程式為 Zr+2H ₂ O→ZrO ₂ +2H ₂ ↑）［6］ 。當(dāng)氫含量較少時，氫占據(jù)四面體間隙而形成間隙固溶體［7］ ；當(dāng)氫含量達(dá)到固溶極限后，則在基體中析出氫化物（即氫化鋯），并在包殼管表面形成以單斜氧化鋯為主的氧化層［8］ 。為研究鋯合金中加氫脫氫行為，H. H. Shen 等［9］ 通過 SEM 和 TEM 對鋯合金氫化物的行為進(jìn)行了原位觀察，在 FIB-SEM 雙束電子顯微鏡中使用 FIB 從鋯合金基體中刨削、切割而提取出合金薄片，并利用離子束沉積金屬鉑將提取出的鋯合金薄片焊接在 TEM 微柵上。在離子減薄的過程中，通過 SEM 發(fā)現(xiàn)鋯合金被離子減薄的區(qū)域由于 Ga 離子束的注入而出現(xiàn)許多片狀晶。為了進(jìn)一步研究離子持續(xù)減薄前后鋯合金顯微組織的變化，研究人員對厚 200 和 100 nm 的同一鋯合金樣品進(jìn)行 掃 描 透 射 式 電 子 顯 微 鏡 明 場（Scanning Transmission Electron Microscope-Bright-Field，STEM-BF）觀察，發(fā)現(xiàn)厚 200 nm 的鋯合金樣品僅有一些位錯線，當(dāng)該樣品離子減薄到 100 nm 時緊鄰的鋯合金晶粒內(nèi)部出現(xiàn)許多具有擇優(yōu)取向的片晶。圖1為 α-Zr合金基體與氫化物片晶共存的顯微組織高分辨 TEM 圖。從圖 1可見，選區(qū)內(nèi)電子衍射花樣為α-Zr 合金基體的［010］及 δ-Zr 氫化物的 [ 11ˉ 0 ] 帶軸方向衍射花樣的疊加，這與室溫下 δ-Zr氫化物為主要相的觀點(diǎn)［9-10］ 相一致。α-Zr合金基體和 δ-Zr氫化物放大后的高分辨透射像，也證實(shí)了早先研究發(fā)現(xiàn)的 兩 相 外 延 關(guān) 系（0001） Zr // { 111ˉ } δ [ 112 ˉ 0 ]Zr //[ 11ˉ 0 ] δ ［11-13］ 。

（a）—α-Zr合金基體與 δ-Zr氫化物片晶共存的高分辨 TEM 像；（b）—α-Zr合金基體與 δ-Zr氫化物混

合相的選區(qū)電子衍射花樣；（c）—鋯合金基體的高分辨像；（d）—δ-Zr氫化物的高分辨像。

（a）—HRTEM images taken from α-Zr matrix and δ-type Zr hydride；（b） SAED patterns taken from α-Zr

matrix and δ-type Zr hydride；（c）—the magnified HRTEM images for α-Zr-matrix and δ-type Zr hydride

captured from the denoted areas in were shown；（d）—the magnified HRTEM images for α-Zr-matrix and

δ-type Zr hydride captured from the denoted areas in respectively.

圖 1　α-Zr合金基體與氫化物片晶共存的顯微組織高分辨 TEM 圖［9］

Figure 1　HRTEM images of α-Zr-matrix and δ-type Zr hydride

在鋯合金氧化行為及氧化膜的研究方面，除了顯微組織和缺陷對氧化行為的影響外，基體中的第二相對氧化侵蝕的影響也不可忽視。J. Huang等［14］研究發(fā)現(xiàn)，鋯合金氧化膜裂紋的形成與第二相粒子的 分 布 密 切 相 關(guān) 。 采 用 高 角 度 環(huán) 形 暗 場（High-Angle Annular Dark-Field，HAADF）像確定第二相顆粒的位置。圖 2 為 FIB-SEM 雙束電鏡制備的氧化膜橫截面樣品的 HAADF 圖。從圖 2 可以看到，氧化膜的裂紋止于第二相顆粒 P1、P2 分布軸的末端，第二相顆粒的分布方向與裂紋擴(kuò)張的方向一致，這種位置關(guān)系表明裂縫的形成與第二相的分布密切相關(guān)。為了確認(rèn)第二相顆粒 P1、P2、P3、P4 的結(jié)構(gòu)及元素構(gòu)成 ，采用高分辨透射電子顯微鏡（High Resolution TEM，HRTEM）測定了第二相的組成，并通過快速傅里葉變換（Fast Fourier Transform，F(xiàn)FT）對濾波后 HRTEM 像進(jìn)行處理，圖 3為沿裂紋分布的 P1 和 P2 顆粒的 HRTEM 圖及其 FFT 花樣圖。從圖 3 可見：在 HRTEM 圖 A—E 區(qū)域的 FFT花樣分別為 AA、BB、CC、DD、EE，表明沿裂縫分布且處于鋯合金基體端的 P1顆粒由 β-Nb相氧化為單斜 Nb 2 O 5 相，處于氧化膜端的 P2 顆粒為單斜 Nb 2 O 5和四方 NbO 2 的混合相；而未沿裂縫分布且同處于氧化膜端的 P3、P4顆粒均為四方 NbO 2 和立方 NbO 的混合相，這表明沿第二相顆粒分布導(dǎo)致裂紋的形成，所形成的裂紋又加速了第二相粒子的氧化，進(jìn)而促進(jìn)了氧化膜裂紋的形成。FFT 選取衍射點(diǎn)為篩選信號濾去雜波得到的反傅里葉變換（Inverse Fast Fourier Transform，IFFT）條紋，通過分析 IFFT 條紋可推斷出在第二相顆粒氧化物及其周圍的 ZrO₂基體中存在大量的缺陷，并且根據(jù)可觀察到的莫爾條紋，可以推斷出在 P3 和 P4 附近有應(yīng)力集中形成的相互重疊的變形晶格。

圖 2　氧化膜橫截面樣品的 HAADF像 ［14］

Figure 2　The cross-sectional HAADF image of theoxide film

（a）—P1顆粒的 HRTEM 圖像；（b）—P2顆粒的 HRTEM 圖像；（c）—P1和 P2顆粒 HRTEM 圖像的 FFT花樣。

（a）—HRTEM image of P1 particle； （b）—HRTEM image of P2 particle； （c）—FFT patterns of P1 and P2 par-ticles.

圖 3　沿裂紋分布的 P1和 P2顆粒 HRTEM 圖像的 FFT花樣 ［14］

Figure 3　HRTEM images of the P1 and P2 particles distributed along the crack

2、電子探針顯微技術(shù)（EPMA）

電 子 探 針 （Electron Probe Microanalysis，EPMA）全稱為電子探針 X射線顯微分析，該技術(shù)為一種用于觀察微觀結(jié)構(gòu)和表面特征的高分辨率顯微鏡技術(shù)。19 世紀(jì) 40 年代末，加拿大-美國籍物理學(xué)家希利爾（James Hillier）首次將電子光學(xué)與 X 射線光譜學(xué)相結(jié)合，初步提出電子探針 X 射線顯微分析的概念，隨著后人的繼承發(fā)展，第一臺電子探針 X射線顯微分析儀在約 10年后問世。

EPMA 是利用電子槍發(fā)射的電子束，在聚焦為直徑很小的極細(xì)電子束后擊打到樣品表面，通過高能電子與原子核外電子的相互作用，將核外電子激發(fā)出去，外層電子向低能級躍遷產(chǎn)生特征 X射線，通過分析 X射線信號對材料的微觀組織結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析表征。在具體應(yīng)用中，還會利用電子束與試樣作用產(chǎn)生的二次電子與背散射電子等信號，并結(jié)合波長色 散 譜 儀（Wavelength Dispersive Spectrometer，WDS） 與 能 量 色 散 譜 儀 （Energy Dispersive Spectrometer，EDS）等檢測儀器進(jìn)行材料的成分和表面形貌的分析［15］ 。M. C. Yeh 等 ［16］ 在 Ni-Ti-Zr 三元體系的相分析中，利用 EPMA獲得了約 30個初始合金成分各不相同的樣本在 800 ℃下的各相含量，并在三元相圖中清晰地標(biāo)注了出來，由三元相圖可知 Ni（Ti，Zr） 2 的 組 成 范 圍 為 Ni 原 子 百 分 數(shù) 為27%—42%、Ti為 26%—57% 和 Zr 為 20%—40%。

在合金元素分布分析方面，高陽等［17］ 在冷卻速率對模擬失水事故（Loss of Coolant Accident，LOCA）后ZIRLO 合金殘余塑性的影響研究中，利用 EPMA 針對不同冷卻速率下，中間相 prior-β 相到氧化膜內(nèi)表面氧含量分布情況進(jìn)行了測定，研究結(jié)果表明：隨冷卻速率與冷卻時間的增大，ZIRLO 合金 prior-β相氧含量呈現(xiàn)下降趨勢，這使得該相顯微硬度下降，并最終導(dǎo)致其殘余塑性的增加；通過對截面上微區(qū)元素分布的 EPMA 掃描發(fā)現(xiàn)，當(dāng)冷卻速率降低時 ZIRLO中的 Fe、Nb等元素明顯重排，并在 α相、prior-β相針狀組織晶界處產(chǎn)生偏析，這導(dǎo)致該針狀組織細(xì)化而達(dá)到細(xì)晶強(qiáng)化的效果，也對材料的殘余塑性產(chǎn)生了正面影響。李青等［18］ 通過 EPMA 面分析，獲得了氧含量及其在 Zr-4 基體與利用熱噴涂工藝制備的 Cr涂 層 中 的 擴(kuò) 散 與 分 布 規(guī) 律 。 E. Torres 等［19］ 利 用EPMA 分析了 Zr-4 包殼材料在 LOCA 蒸汽氧化后的氧分布，通過 EPMA 方法表征了局部區(qū)域氧濃度及蒸汽氧化后樣品內(nèi)的氧氣分布規(guī)律，這種偏析是由于 β相轉(zhuǎn)變?yōu)楦€(wěn)定的 α（O）層，并且結(jié)合軟件處理提出了一個新的模型來描述兩相區(qū)的氧氣擴(kuò)散機(jī)制。M. Steinbrück 等［20］ 在研究 M5 鋯合金上的氧穩(wěn)定的 α-Zr （O）與氮的反應(yīng)動力學(xué)研究中，利用微探針元素分析得到了完全反應(yīng)后相關(guān)相 Zr、Nb、O、N的分布情況，在 1 200 ℃氮化下的樣品中，O 和 N 圖清晰地表明氧化相與氮化相的混合狀態(tài)、密集的氧化相與孔隙分布及氧的濃度梯度，而 Nb 在樣品中則趨于較為均勻的分布狀態(tài)，結(jié)合點(diǎn)分析和線掃描的測定結(jié)果最終給出了氧穩(wěn)定的 α-Zr （O）與氮?dú)夥磻?yīng)動力學(xué)的數(shù)據(jù)，并認(rèn)為其具有線性的動力學(xué)特征，α-Zr （O）的初始組成還與溫度具有強(qiáng)烈的依賴性。

在合金微組織與結(jié)構(gòu)分析方面，胡小剛等［21］ 利用 EPMA 截面圖，對其制備的電弧離子鍍 Cr 涂層Zr-4 合金包殼材料在 1 000、1 100、1 200 ℃下高溫氧化后產(chǎn)生的不同缺陷進(jìn)行表征（見圖 4），發(fā)現(xiàn)：在1 100 ℃下 Zr-4 合金氧化程度加深，Zr-Cr 互擴(kuò)散層加厚，初始 Cr 層減薄，并且出現(xiàn)了許多尺寸較小的氧化層鼓泡；相比之下，在 1 200 ℃下氧化后，Cr 涂層更加明顯地形成四層組織結(jié)構(gòu)（如致密的 Cr 2 O 3及 Zr-Cr互擴(kuò)散層等），這樣的結(jié)構(gòu)將對 Zr-4合金的基體產(chǎn)生一定的保護(hù)效果，降低其被繼續(xù)氧化與破壞的風(fēng)險。

圖 4　1 000、1 100、1 200 ℃高溫氧化后涂層中 Cr元素成分分析及演化

Figure 4　Composition mappings and evolution of chromium element in coating after oxidation at 1 000，1 100 and 1 200 ℃

EPMA 可通過對樣品能譜和波譜信號的分析對比，以達(dá)到對微區(qū)域的成分類型與分布、定量的分析。EPMA 用于分析合金相及其夾雜物時，具有對各個相進(jìn)行識別分析，以及對材料組分信息與形貌對比的能力優(yōu)勢［22］ ，在合金的元素偏聚、雜質(zhì)檢測、擴(kuò)散與相分析、礦物的成分測定等方向得到應(yīng)用。

此外，EPMA 還可針對鋯合金包殼材料的元素分布進(jìn)行分析，如分析熱處理或氧化處理后鋯合金中主要合金相元素及氧的偏聚情況、擴(kuò)散相分析等。其次，EPMA 在鋯合金微觀組織結(jié)構(gòu)的表征分析中也有一定的應(yīng)用，其強(qiáng)大的微區(qū)元素分析能力及微束分析，與 EDS、WDS 等檢測儀器聯(lián)用的特點(diǎn)是密切相關(guān)的，在對鋯合金（包殼）材料的分析過程中可以得到一些其他檢測技術(shù)不易獲得的信息。

3、原位檢測技術(shù)

3. 1　透射電子顯微鏡原位輻照技術(shù)

透射電子顯微鏡原位輻照技術(shù)是在透射電子顯微 鏡（Transmission Electron Microscope，TEM）內(nèi)部對材料進(jìn)行輻照實(shí)驗(yàn)的一種方法，這技術(shù)結(jié)合了透射電子顯微鏡的高空間分辨率和輻射實(shí)驗(yàn)的原位觀察能力，可以用于研究材料在輻照條件下的行為及輻照引起的微觀結(jié)構(gòu)的變化。

鋯合金的輻照損傷是由原子級缺陷或缺陷簇的產(chǎn)生引起的，這些缺陷簇在從皮秒到幾十年的時間跨度的持續(xù)輻照下演化為納米級微觀和宏觀缺陷。將離子加速器與 TEM 集成，可以讓人們在對鋯合金進(jìn)行離子輻照的同時，觀察其缺陷的演化，消除了以往非原位 TEM 研究中樣品從輻照到觀察過渡的復(fù) 雜 性 ，并 能 提 供 更 連 續(xù) 和 詳 細(xì) 的 缺 陷 演 化 圖像［23］ 。透射電子顯微鏡原位離子輻照技術(shù)，已在很多方面得到應(yīng)用。

3. 1. 1　耐事故燃料包殼與涂層的反應(yīng)

鍍鉻鋯合金在高溫下有更好的抗氧化能力，從而能增強(qiáng)反應(yīng)堆的安全性。然而，在持續(xù)的中子輻照下鋯合金表面的氧化鉻涂層必須始終保持附著能力。J. Ribis 等［24］ 對 Cr涂層 Zr-4 材料在特定離子輻照實(shí)驗(yàn)前后的界面區(qū)域研究發(fā)現(xiàn)，經(jīng)離子輻照后在特定條件下可觀察到鋯合金-鉻界面相已明顯溶解（見圖 5）， 鋯合金-鉻界面明顯變小，表明溶解過程中伴隨著一種反直覺的輻射誘導(dǎo)銳化現(xiàn)象。

（a）—Zr-Cr界面的亮場 TEM 圖像；（b）—離子輻照后的相同區(qū)域。

（a）—bright field TEM image of the Zr-Cr interface；（b）—same area after ion-irradiation.

圖 5　輻照前后的界面區(qū)域

Figure 5　The interface region before and after irradiation

3. 1. 2　鋯合金的蠕變

核反應(yīng)堆材料的輻照蠕變現(xiàn)象是在小恒載和長期輻照下發(fā)生的一種粘塑性變形現(xiàn)象，然而對于控制輻照蠕變的基本變形機(jī)制一直沒有明確的認(rèn)識。M. Gaume 等［25］ 采用中壓電子顯微鏡（Intermediate Voltage Electron Microscope，IVEM），以轟擊注入能量為 1 MeV、束流密度為 6×10 14 m ?2 ·s ?1 的 Kr 2+離子流對 Zr-4 合金進(jìn)行原位輻照，同時對樣品施加較低的應(yīng)力，在透射電子顯微鏡內(nèi)觀察樣品的原位變形，分析了不同晶粒中位錯的運(yùn)動并發(fā)現(xiàn)：當(dāng)離子束關(guān)閉時，所有在施加應(yīng)力下觀察到的位錯都逐漸被輻照缺陷釘住；當(dāng)離子束被打開時，位錯在照射下開始移動，直到離子束被再次關(guān)閉。由此提出，解釘是由傳入離子在釘扎點(diǎn)附近產(chǎn)生的位移級聯(lián)的局部效應(yīng)引起的，這種新型的位錯滑移機(jī)制被認(rèn)為對反應(yīng)堆內(nèi)鋯合金的蠕變起著至關(guān)重要的作用。

3. 1. 3　第二相的變化

在 Zr-Nb 合金中，由于 ω 相通常與合金力學(xué)性能的退化有關(guān)，因此研究該合金體系在輻照影響下ω 相的演化具有重要意義。合金 ω 相的形成，可以通過 bcc 晶格的相鄰｛222｝平面以周期性方式崩塌來表示。L. Goel等［26］ 在 Zr-20Nb合金原位 TEM 研究中發(fā)現(xiàn)，在溫度 473和 573 K下，以能量 2 MeV、通量約 1. 5×10 20 cm ^?2 的電子束對樣品進(jìn)行原位電子輻照，通過觀察 β 相電子衍射圖中某一特定區(qū)域的彌漫性 ω相強(qiáng)度分布的發(fā)展及與相應(yīng)晶體 ω結(jié)構(gòu)的衍射點(diǎn)位的轉(zhuǎn)移，監(jiān)測了亞穩(wěn) β 相在電子輻照下的分解過程，從而研究了 ω 相的演化規(guī)律，結(jié)果表明：通過 SAD 模式（選區(qū)衍射模式），觀察到合金具有彌散散射和條紋等 ω 相形成特征，同時峰值強(qiáng)度最大值在整個轉(zhuǎn)變過程中不斷移動；此外，隨著電子能量和輻照溫度的增加，ω 相在經(jīng)過一定時間的輻照后趨于不穩(wěn)定，這種不穩(wěn)定被歸因于輻照后空位濃度的積累。

3. 2　原位電化學(xué)阻抗譜研究

原位電化學(xué)阻抗譜（Electrochemical Impedance Spectrum，EIS）技術(shù)是通過對電化學(xué)系統(tǒng)施加一個小的正弦交流電位（或電流）作為攝動信號，通過測量電流（或電位）響應(yīng)，來確定電化學(xué)系統(tǒng)阻抗的頻率依賴性［27］ ，從而獲得各種材料信息和界面信息。

原位電化學(xué)阻抗譜主要應(yīng)用于鋯合金腐蝕過程中阻抗模量及氧化膜厚度的變化，進(jìn)而研究鋯合金氧化膜的腐蝕行為，并且結(jié)合電子顯微鏡分析，進(jìn)一步觀察腐蝕前后氧化膜的顯微組織。T. Kim 等 ［28］ 通過原位電化學(xué)阻抗譜實(shí)驗(yàn)，研究了 Zr-Nb-Sn鋯合金在壓水堆模擬一次水條件下（ 360 ℃、不同溶解氫含量）的電化學(xué)特性，測定了鋯合金氧化膜厚度和電阻率隨時間的變化規(guī)律，發(fā)現(xiàn)在高溶解氫的條件下鋯合金氧化膜腐蝕速率更快。V. Reznikova等 ［29］ 通過原位電化學(xué)阻抗譜實(shí)驗(yàn)研究了 Zr-4 和 Zr-1Nb 在340 ℃下在非活性 VVER 主冷卻劑中的腐蝕行為，結(jié)合法拉第定律和 Stern Geary 近似（Faraday's Lawand Stern-Geary approximation，F(xiàn)LSG）計算了氧化層厚度，并以其作為累積腐蝕速率的形式，通過比較瞬時腐蝕速率和累積腐蝕速率，證明了過渡時間的測定可能不準(zhǔn)確。

3. 3　原位拉伸實(shí)驗(yàn)

原位拉伸實(shí)驗(yàn)是指在拉伸實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行過程中，同時使用透射電子顯微鏡或掃描電子顯微鏡對鋯合金樣品作觀察，這種方法可以實(shí)時觀察鋯合金的變形行為。Y. Zhang 等［30］ 采用原位環(huán)拉伸，研究了不同氫濃度下鋯合金包層的膨脹變形行為。圖 6為徑向氫化物引發(fā)裂紋的原位SEM圖，圖中標(biāo)記為C1和C2的氫化物是周向氫化物、標(biāo)記為 R1和 R2的氫化物是徑向氫化物。從圖 6可以看出，隨著拉伸位移增大，徑向氫化物更傾向于形成裂紋。同時，環(huán)拉伸現(xiàn)場的觀察結(jié)果也表明，徑向氫化物較周向氫化物更傾向于開裂。結(jié)合現(xiàn)場觀測和斷口分析結(jié)果，提出了基于氫化物鋯合金包層膨脹變形的斷裂模型。

（a）—拉伸位移 0. 80 mm 的微觀結(jié)構(gòu)；（b）—拉伸位移 0. 90 mm 的微觀結(jié)構(gòu)；（c）—拉伸位移 0. 95 mm 的微觀結(jié)構(gòu)；（d）—拉伸位移 1. 00 mm 的微觀結(jié)構(gòu)。

（a）—microstructure with the tensile displacement of 0. 80 mm；（b）microstructure with the tensile displace-ment of 0. 90 mm；（c）—microstructure with the tensile displacement of 0. 95 mm；（d）—microstructure with the tensile displacement of 1. 00 mm.

圖 6　徑向氫化物引發(fā)裂紋的原位 SEM 觀察

Figure 6　In situ SEM observation of the crack initiation with radial hydrides 

3. 4　原位拉曼光譜

拉曼光譜（Raman spectroscopy）是一種光的非彈性散射效應(yīng)，來源于分子振動（和點(diǎn)陣振動）與轉(zhuǎn)動，可用于檢測鋯合金成分及結(jié)構(gòu)的變化，同樣是研究水中溶解氫對鋯合金的腐蝕行為。T. Kim 等［31］采用原位拉曼光譜，研究了在不同溶解氫含量下（2. 49 和 4. 15 mg·kg ?1 ）氧化 100 d 后鋯合金的腐蝕行為并發(fā)現(xiàn)：在高溫水環(huán)境中溶解氫的含量會影響氧化鋯的相組成，在高溶解氫含量下氧化鋯會加快由四方相向單斜相的相變（見圖 7）。圖 7 為 Zr-Nb-Sn 樣品在氫含量 4. 15 mg·kg ?1 的高溫（360 ℃）水中分別氧化 30、50、80 和 100 d 后的原位拉曼光譜，圖中 M 和 T 標(biāo)記分別表示氧化鋯的單斜相和四方相所對應(yīng)的峰，圖上半部分的豎線表示與藍(lán)寶石和硼酸產(chǎn)生的硼酸離子相對應(yīng)的拉曼峰。從圖 7 可見，隨著氧化時間延長，氧化鋯發(fā)生了由四方相向單斜相的轉(zhuǎn)變。

圖 7　Zr-Nb-Sn 樣 品 在 含 溶 解 氫 4. 15 mg ·kg ?1 的 高 溫（360 ℃）水中氧化不同時間后的原位拉曼光譜圖

Figure 7　In situ Raman spectra of Zr-Nb-Fe specimen after 30， 50， 80 and 100 d oxidation in high-temperature （360 ℃） water containing 4. 15mg·kg ?1 of dissolved hydrogen

3. 5　原位 X射線衍射

原位 X 射線衍射（X-Ray Diffraction，XRD）是利用高強(qiáng)度、高度準(zhǔn)直的同步輻射 X 光源，可以快速、高精度分析鋯合金物相，間接分析元素及價態(tài)分布，且對樣品幾乎沒有損傷。目前，對于鋯合金的研究而言，原位 X射線衍射應(yīng)用得非常少，或許是因?yàn)橥捷椛滟Y源在全球十分地有限［32］ 。近 5 年來，使用原位 X 射線衍射對鋯合金進(jìn)行的研究僅找到 1 項(xiàng)，近 7 年僅有 2 項(xiàng)，均為 M. S. Syrtanov 等［33-34］ 在俄羅斯科學(xué)院西伯利亞分院 Budker 核物理研究所西伯利亞同步和太赫茲輻射中心的精密衍射儀 II站進(jìn)行的。他們采用原位 X 射線衍射對含 Cr/Mo 保護(hù)涂層的 Zr-1Nb鋯合金高溫氧化過程進(jìn)行研究（見圖 8）并發(fā)現(xiàn)：鋯合金與 Cr涂層在 25—1 250 ℃下，隨著溫度的增加樣品內(nèi)發(fā)生了由 α-Zr相到 β-Zr相的相變；同時，還出現(xiàn)了金屬間化合物 Cr₂Zr 相和 Cr₂O₃相，前者是高溫下鋯和鉻相互擴(kuò)散形成的，后者則是實(shí)驗(yàn)室內(nèi)殘余氧對 Cr表面部分氧化造成的。表明，借助原位 XRD 實(shí)驗(yàn)，可幫助他們對通過光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡觀察到的 Mo-Zr互擴(kuò)散層的擴(kuò)散過程進(jìn)行描述，以及對生長機(jī)理進(jìn)行研究［33］ 。

圖 8　25—1 250 ℃內(nèi)鋯合金與 Cr涂層下的相變原位 XRD圖

Figure 8　Phase transitions in Zr alloy with the Cr coating under liner heating in the temperature of 25—1 250 ℃

4、原子探針分析技術(shù)（APT）

原子探針（Atom Probe Tomography，APT）是精度很高的一種測試分析儀器，近 20 年來發(fā)展迅猛。在場離子顯微鏡下的針狀樣品被施加很高的電壓，其尖端的原子易被電離并在電場的作用下運(yùn)動，通過測量質(zhì)荷比與利用電子倍增器等信號放大與處理系統(tǒng)確定原子的種類，再通過層層的電離與探測，利用計算機(jī)處理可以獲得三維下原子的排布信息，即各類原子在樣品中的分布情況［35］ 。在鋯合金研究中，APT 對于合金中元素偏聚現(xiàn)象、氧化過程、氫的分布等分析和納米尺度下原子分布情況的表征都有著重要的應(yīng)用。

4. 1　在元素偏聚方面

在元素偏聚的分析方面，原子探針是十分常用且行之有效的測試分析方法之一。利用 APT 可以非常清晰地獲得鋯合金樣品中基體元素與各溶質(zhì)元素的分布情況與偏析行為，并依據(jù)結(jié)果推測其相互關(guān)系。D. Hudson 等［36］ 采用 APT，對經(jīng)輻照與熱處理后的 ZIRLO 鋯合金研究發(fā)現(xiàn)，大量的 Fe和 Nb一同強(qiáng)烈地表現(xiàn)出偏析的現(xiàn)象，而 Sn、O、C 或 N 的偏析并不明顯。T. Sawabe 等［37］ 通過高能脈沖激光APT，研究了 Zr-2中鋯基體與第二相粒子的化學(xué)組成，用相應(yīng)原子的自然豐度代表峰表示原子濃度，發(fā)現(xiàn) Zr 2 （Fe，Ni）中的 Si能降低主要由 Ni引起的吸氫行為，并提高了合金的耐腐蝕性。B. Gault 等［38］ 利用 APT 發(fā)現(xiàn)，在熱處理前的淬火過程中合金中的Fe 會在晶界形成 Zr 3 Fe 的偏析，Cr會在晶界處形成小球形顆粒或在位錯周圍形成柯垂?fàn)枤鈭F(tuán)，F(xiàn)e與 Cr的行為對合金的耐腐蝕性至關(guān)重要。Liang 等［39］ 采用原子探針探究了 Zr-Nb 合金中 Fe 的偏析與其耐腐蝕性的關(guān)系過程，發(fā)現(xiàn) Fe 在 β-Nb/α-Zr的相界面上選擇性地偏析，以至于出現(xiàn) Fe濃度峰值，F(xiàn)e原子百分?jǐn)?shù)從 0. 4% 至 1. 2%，鐵的選擇性偏析可能是受到熱處理和冷軋引起的結(jié)構(gòu)缺陷影響。

4. 2　在合金氧化方面

原子探針技術(shù)也在合金腐蝕情況的研究中展現(xiàn)出了優(yōu)勢。早在 2009 年，牛津大學(xué)的 D. Hudson等［40］ 采用 APT 并與激光脈沖等技術(shù)結(jié)合的方法，對純鋯的氧化過程進(jìn)行研究并發(fā)現(xiàn)，經(jīng)過空氣或在水溶液中溫和的光氧化作用，鋯表面上生成了納米量級的氧化鋯薄膜（ZrO 1?x ）初始層，而在激光脈沖的條件下則產(chǎn)生穩(wěn)定的 ZrO₂，并且觀察到了氫化物和氫的析出。此外，D. Hudson 等［41］ 還利用系統(tǒng)化的自動測距程序結(jié)合 APT，更加清晰地揭示了 ZIRLO基體中鐵的分布，以及其在腐蝕過程中的行為，這樣的自動測距指標(biāo)在低濃度溶質(zhì)的分析中具有更高的準(zhǔn)確性。結(jié)果表明，鐵的濃度在富氧的外部區(qū)域升高，并且氧濃度的增加是晶格畸變增大及減小因容納鐵原子而產(chǎn)生應(yīng)變的重要原因。Y. Dong等［42］ 利用 APT 對純 Zr、Zr-4 和 Zr-0. 4Fe-0. 2Cr 在 360 ℃水熱條件下處理后的氧化層進(jìn)行了分析，結(jié)果表明：元素分布符合 TEM 的結(jié)果，并觀察到出現(xiàn)富含 Fe、Cr的納米析出物；沿著 ZrO 2 的晶界，在 ZrO₂ /ZrO 和ZrO/Zr （O） sat 界面觀察到 Fe和 Sn的分離和聚集；在ZrO₂前沿觀察到一連串的亞氧化物相，包括一層薄的 ZrO 與飽和固溶體 Zr （O） sat ；不同氧化相之間的界面形態(tài)各不相同，ZrO與 ZrO₂  的界面更加平整，而與Zr（O） sat 的界面則是凹凸不平的。圖 9 為 Zr-Fe-Cr合金 Fe 偏聚情況及濃度，圖 10 為純 Zr 氧化層的分布情況及 Zr、O濃度分布。

（a）—APT重構(gòu)顯示含 Fe的晶界偏析；（b）—沿圖（a）中箭頭所示的晶界濃度分布。

（a） （b）（a）—APT reconstruction showing the grain boundary with Fe segregation； （b）—concentration profile across the grain boundary along the arrow shown in （a）.

圖 9　Zr-Fe-Cr合金 Fe偏聚情況及濃度

Figure 9　Segregation and concentration profile of Fe in Zr-Fe-Cr alloy B. De Gabory 等［43］ 

在 Zr-4 和 ZIRLO 腐蝕過程中腐蝕速率變化機(jī)制與氧化物的動力學(xué)轉(zhuǎn)變的研究中，利用 APT 對樣品的氧化物/金屬界面進(jìn)行了分析，發(fā)現(xiàn)與電子能量損失譜（Electron Energy Loss Spectroscopy，EELS）的結(jié)果很好地符合，經(jīng)反應(yīng)釜中高壓氧化后樣品中出現(xiàn)一系列的相與擴(kuò)散層（如立方相 ZrO 的中間層、Zr （O） sat 氧飽和亞氧化物層）及從固溶體到金屬相的氧濃度梯度呈下降狀態(tài)的區(qū)域。

4. 3　在氫的檢測方面

鋯合金包殼材料在用于核燃料包層的運(yùn)行過程中，會發(fā)生氫化物脆化的現(xiàn)象。在氫的檢測方面，G. Sundell等［44］ 利用 APT 與質(zhì)譜，研究了氫和氘在氧化層的分布情況，通過 Fe 的偏析現(xiàn)象確定了晶界，并分離出了腐蝕產(chǎn)物中的氫，結(jié)果表明鋯合金的吸氫行為依靠氧化物晶界作為主要途徑。B. M.Jenkins 等［45］ 將 APT 應(yīng)用于中子輻照的鋯合金，研究發(fā)現(xiàn)在含有 β-Nb第二相粒子的樣品中，第二相粒子內(nèi)氫含量相較周圍 Zr 基體增加，富含 Nb 的第二相粒子成為了 Zr中的弱氫阱。

（a）—APT重構(gòu)的包含氧化物/金屬界面的 10 nm 切片；（b）—圖（a）中的濃度分布。

（a）—a 10 nm slice from an APT reconstruction containing the oxide/metal interface；

（b）—concentration profile along the arrow indicated shown in （a）.

圖 10　純 Zr氧化層的分布情況及 Zr、O濃度分布

Figure 10　Distribution of oxide layer and concentration of Zr and O in pure Zr

5、問題及展望

為了降低核電成本，必須提高核燃料的燃耗，延長燃料元件的換料周期，這對燃料元件包殼鋯合金的性能提出了更高的要求。隨著研究的深入，傳統(tǒng)的顯微組織結(jié)構(gòu)的檢測設(shè)備和表征方法已經(jīng)無法滿足優(yōu)化鋯合金成分設(shè)計及開發(fā)制備工藝技術(shù)的需求，而先進(jìn)表征方法能夠幫助我們更深入地了解鋯合金的性能及服役行為。例如：利用三維原子探針表征鋯合金中元素的偏聚、擴(kuò)散和遷移，研究合金中的各種缺陷團(tuán)簇；利用比常規(guī)衍射儀準(zhǔn)直性好的同步輻射 X 射線衍射儀，更準(zhǔn)確地分析合金的相變化過程；利用原位拉伸試驗(yàn)觀察不同位移情況下氫化物的變化情況，分析哪一種氫化物更易形成裂紋；利用透射電子顯微鏡的原位輻照技術(shù)，研究輻照過程中界面和位錯的變化等。因此，各種先進(jìn)的檢測設(shè)備和表征方法，已被國內(nèi)外廣泛運(yùn)用在鋯合金包殼的微觀組織結(jié)構(gòu)的研究之中。

目前，國內(nèi)核電發(fā)展迅速，提高鋯合金的耐輻照、耐腐蝕等性能是非常重要和迫切的。雖然，鋯合金的顯微組織研究中用到了各種檢測設(shè)備和表征方法，但在合金的顯微組織研究中還存在一些認(rèn)識不清楚和存在爭議的問題。例如：鋯合金中的第二相對腐蝕行為的影響還沒有從根本上得到一致的認(rèn)識［3］ ；開動不同的滑移和孿生系統(tǒng)的臨界切應(yīng)力與溫度、應(yīng)力分布、合金成分、組織等的關(guān)系，還需要更深入的認(rèn)識［46］ ；鋯合金的第二相、結(jié)晶行為、氧化膜、氫化物和織構(gòu)，他們綜合作用于鋯合金的機(jī)制尚未達(dá)成共識［3］ ；國內(nèi)對輻照后鋯合金材料的顯微組織，研究報道還較少；從工藝角度看，耐事故燃料鋯合金包殼涂層是國內(nèi)外研究的熱點(diǎn)［47］ ，對氫化物的理解和控制也還需持續(xù)研究［48-52］ 。另外，國內(nèi)也存在一些的先進(jìn)的檢測設(shè)備普適性不高的問題。例如：同步輻射 X 射線衍射儀，在國內(nèi)只有 3家機(jī)構(gòu)擁有同步輻射資源，分別為中國科學(xué)院高能物理研究所 的 北 京 同 步 輻 射 裝 置（Beijing Synchrotron Radiation Facility，BSRF）、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)的國家同步輻射實(shí)驗(yàn)室（National Synchrotron Radiation Laboratory，NSRL）、中國科學(xué)院上海高等研究院的上海同步輻射光源（Shanghai Synchrotron Radiation Facility，SSRF），而這些同步輻射資源分別為第一、第二和第三代同步輻射光源，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足研究人員的使用要求；又如南京理工大學(xué)、上海大學(xué)、北京科技大學(xué)、清華大學(xué)等多所高校，雖然已擁有原子探針，但原子探針的檢測費(fèi)用相對較高；再如，電子探針結(jié)合波譜可以很精準(zhǔn)地進(jìn)行合金元素的定性定量分析，但檢測費(fèi)用相對較高且檢測時間長，會對鋯合金顯微組織的研究造成一定的影響，不能大量、高效地開展研究工作。

鑒于鋯合金顯微組織研究在鋯合金材料科學(xué)及核工程材料領(lǐng)域發(fā)揮的重要作用，可以預(yù)見未來顯微組織研究技術(shù)還將面向核工程的需要而在以下方面不斷地發(fā)展和完善。（1）高分辨率顯微鏡技術(shù)的不斷發(fā)展及進(jìn)步，特別是電子顯微鏡和原子力顯微鏡等高分辨率技術(shù)的普遍應(yīng)用和技術(shù)創(chuàng)新，將能夠提供更詳細(xì)、精確的鋯合金顯微組織信息，使研究者可以更準(zhǔn)確地了解材料的微觀結(jié)構(gòu)；（2）智能化數(shù)據(jù)處理和分析，隨著人工智能和機(jī)器學(xué)習(xí)技術(shù)的快速發(fā)展，未來鋯合金顯微組織檢測的數(shù)據(jù)處理和分析將變得更加智能化，通過使用深度學(xué)習(xí)等技術(shù)，從大量的顯微組織圖像中提取出關(guān)鍵信息，加快研究的進(jìn)展；（3）多模態(tài)成像技術(shù)的融合，未來的顯微組織檢測將更多地采用多種成像技術(shù)的融合（如光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、X 射線顯微鏡等），在不同尺度上獲取更全面的信息，從而更全面地了解鋯合金的微觀結(jié)構(gòu)；（4）精細(xì)、實(shí)時、原位觀察技術(shù)的發(fā)展，隨著實(shí)時、原位觀察技術(shù)的不斷發(fā)展，研究者將能夠在材料受力、受熱、受輻照等條件下直接觀察顯微組織的變化過程，建立鋯合金及涂層的熱-力-化耦合本構(gòu)模型及壽命預(yù)報模型［53］ ，這將為鋯合金材料設(shè)計和性能優(yōu)化提供重要參考；（5）高通量測試和自動化技術(shù)，未來的鋯合金顯微組織檢測系統(tǒng)將更多地采用高通量測試和自動化技術(shù)，快速、準(zhǔn)確地對大量樣品進(jìn)行檢測和分析，從而加快研究的進(jìn)程；（6）數(shù)字化顯微組織數(shù)據(jù)庫，未來可以建立一個龐大的數(shù)字化顯微組織數(shù)據(jù)庫，其中包含了各種鋯合金樣品的顯微組織信息，研究人員可以通過查詢這個數(shù)據(jù)庫獲取相關(guān)信息，從而加快研究的進(jìn)程。

6、結(jié)語

鋯合金成分、性能及服役行為的研究，需要綜合利用先進(jìn)的檢測設(shè)備及表征方法才能找到問題的本質(zhì)，從根本上揭示提高鋯合金耐腐蝕性、力學(xué)性能的機(jī)制，從而早日研發(fā)出更多具有自主知識產(chǎn)權(quán)的新型鋯合金，并且使其能夠工程化應(yīng)用。隨著顯微組織研究技術(shù)的不斷地發(fā)展和完善，鋯合金顯微組織檢測技術(shù)將會變得更加精確、高效、智能化，為鋯合金材料的研究和應(yīng)用提供更強(qiáng)有力的支持。

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